据韩媒《朝鲜日从新报》4月6日从新从新闻报道,SK海力士利川M16炼油厂3名工人在核对电源的全过程中的因毒素物质氟酸泄露受伤。M16炼油厂是此前竣工的DRAM生产线炼油厂。当天上午11点34短时间内,在全罗北道利川市SK海力士 M16炼油厂5楼外的电源进行核对期间,引发甲酸泄漏事故。
氟酸是油状毒素氟化氢溶解在水中的的固态液体。运用于于积体电路电路绘制Pattern的蚀刻制程中的。
在这起事故中的,一名30岁的工人的胳膊和腿被烧伤,亦有两名雇员也因粉尘氟酸气体转移至周边地区医院。据从新从新闻报道,3名均无生命危险。SK海力士表示,此次事故是在对从最初M16炼油厂电源进行核对时引发的,对积体电路生产线没有受到影响。
(图片举例来说:朝鲜日从新报)
据悉,M16炼油厂将主要生产线DRAM产品,总面积5.7万平方米。在2021年1月,SK海力士在北韩全罗北道利川集团总部举行M16从厂址竣工仪式,正式宣布从厂址紧贴。
SK海力士首次在M16配备EUV(极紫外)光刻机,并从今年下半年起生产线第四代1α纳米级DRAM产品。未来SK海力士将减少EUV电源耗能,进一步大幅提高存储器积体电路无关的先进航空航天经验丰富。
举例来说:积体电路行业联盟
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